Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems - Francis E H Tay - Livros - Springer-Verlag New York Inc. - 9781441953032 - 3 de dezembro de 2010
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Francis E H Tay
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2002 edition

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Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.

328 pages, 176 black & white illustrations, biography

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 3 de dezembro de 2010
ISBN13 9781441953032
Editoras Springer-Verlag New York Inc.
Páginas 299
Dimensões 155 × 235 × 17 mm   ·   458 g
Idioma Inglês  
Editor Tay, Francis E. H.

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