Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems - Francis E H Tay - Livros - Springer-Verlag New York Inc. - 9781402071751 - 31 de agosto de 2002

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Francis E H Tay
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Francis E H Tay 2002 edition

Name: Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems
Price: 144.49 EUR
Availability: OutOfStock
Author: Francis E H Tay

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(2010) € 144,49

Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems

Francis E H Tay

2002 edition

Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.

299 pages, biography

Mídia	Livros Hardcover Book (Livro com lombada e capa dura)
Lançado	31 de agosto de 2002
ISBN13	9781402071751
Editoras	Springer-Verlag New York Inc.
Páginas	299
Dimensões	155 × 235 × 19 mm · 712 g
Idioma	Inglês
Editor	Tay, Francis E. H.