Design a Slit HDP Semiconductor Plasma Dry Etcher - Kung Linliu - Livros - Independently Published - 9798561298431 - 8 de novembro de 2020
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Kung Linliu
Design a Slit HDP Semiconductor Plasma Dry Etcher

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In order to overcome the difficulties of the manufacturing procedures, the novel concept of slit shape HDP plasma dry etching of metal roller from semiconductor IC process is proposed and applied to a patent.

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 8 de novembro de 2020
ISBN13 9798561298431
Editoras Independently Published
Páginas 140
Dimensões 152 × 229 × 8 mm   ·   195 g
Idioma Inglês  

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