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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration
Joachim Kusterer
Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration
Joachim Kusterer
Mídia | Livros Paperback Book (Livro de capa flexível e brochura) |
Lançado | 16 de março de 2010 |
ISBN13 | 9783869552842 |
Editoras | Cuvillier Verlag |
Dimensões | 144 × 208 × 12 mm · 164 g |
Idioma | German |
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