CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications - Microtechnology and MEMS - D. Lange - Livros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642077289 - 4 de dezembro de 2010
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CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications - Microtechnology and MEMS Softcover reprint of the original 1st ed. 2002 edition

D. Lange

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This book is intended for scientists and engineers in the field of micro- and nano electro-mechanical systems (MEMS and NEMS) and introduces the development of cantilever-based sensor systems using CMOS-compatible micromachining from the design concepts and simulations to the prototype.

150 pages, biography

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 4 de dezembro de 2010
ISBN13 9783642077289
Editoras Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 142
Dimensões 155 × 235 × 8 mm   ·   222 g
Idioma Inglês  

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