Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques - R J Shul - Livros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540667728 - 28 de agosto de 2000
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R J Shul
Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques

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The ability to make small features in Si, metals, dielectrics and other materials has enabled rapid advances in computing and all other technologies that depend on microelectronics, miniature sensors and actuators and magnetic data storage. This work looks at plasma techniques, which enable the fine control and accurate pattern transfer.

655 pages, 141 black & white illustrations, 10 colour illustrations, biography

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 28 de agosto de 2000
ISBN13 9783540667728
Editoras Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 655
Dimensões 166 × 244 × 49 mm   ·   1,05 kg
Idioma Alemão  
Editor Pearton, S. J.
Editor Shul, R. J.

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