Hf-Based High-k Dielectrics: Process Development, Performance Characterization, and Reliability - Synthesis Lectures on Solid State Materials and Devices - Young-Hee Kim - Livros - Springer International Publishing AG - 9783031014246 - 31 de dezembro de 2007
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Hf-Based High-k Dielectrics: Process Development, Performance Characterization, and Reliability - Synthesis Lectures on Solid State Materials and Devices

Young-Hee Kim

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Hf-Based High-k Dielectrics: Process Development, Performance Characterization, and Reliability - Synthesis Lectures on Solid State Materials and Devices

Hard breakdown and soft breakdown, particularly the Weibull slopes, were studied under constant voltage stress. The origin of soft breakdown (first breakdown) was studied and the results suggested that the soft breakdown may be due to one layer breakdown in the bilayer structure (HfO2/SiO2: 4 nm/4 nm).

92 pages, X, 92 p.

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 31 de dezembro de 2007
ISBN13 9783031014246
Editoras Springer International Publishing AG
Páginas 92
Dimensões 212 g
Idioma English  
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