Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology - A.j. Van Roosmalen - Livros - Springer-Verlag New York Inc. - 9781489925688 - 29 de maio de 2013
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Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology Softcover reprint of the original 1st ed. 1991 edition

A.j. Van Roosmalen

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This book has been written as part of a series of scientific books being published by Plenum Press. This book is unique in that it gives a compact, yet complete, in-depth overview of fundamentals, systems, processes, tools, and applications of etching with gas plasmas for VLSI.

256 pages, black & white illustrations

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 29 de maio de 2013
ISBN13 9781489925688
Editoras Springer-Verlag New York Inc.
Páginas 237
Dimensões 178 × 254 × 13 mm   ·   449 g

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