Plasma Charging Damage - Kin P. Cheung - Livros - Springer London Ltd - 9781447110620 - 30 de agosto de 2012
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Kin P. Cheung
Plasma Charging Damage Softcover reprint of the original 1st ed. 2001 edition

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In the 50 years since the invention of transistor, silicon integrated circuit (IC) technology has made astonishing advances. In state of the art silicon Ie manufacturing process, plasma is used in more than 20 different critical steps.

364 pages, biography

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 30 de agosto de 2012
ISBN13 9781447110620
Editoras Springer London Ltd
Páginas 346
Dimensões 157 × 234 × 19 mm   ·   522 g
Idioma Inglês  

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