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Microlithography: Science and Technology Bruce W. Smith 3º edição
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€ 245,49
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Microlithography: Science and Technology
Bruce W. Smith
Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices.
900 pages, 570 black & white illustrations, 40 black & white tables
| Mídia | Livros Hardcover Book (Livro com lombada e capa dura) |
| Lançado | 20 de maio de 2020 |
| ISBN13 | 9781439876756 |
| Editoras | Taylor & Francis Inc |
| Páginas | 838 |
| Dimensões | 150 × 220 × 20 mm · 1,62 kg |
| Idioma | Inglês |
| Editor | Smith, Bruce W. |
| Editor | Suzuki, Kazuaki |
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