Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070 - MRS Proceedings - B J Pawlak - Livros - Cambridge University Press - 9781107408548 - 5 de junho de 2014
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B J Pawlak
Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070 - MRS Proceedings

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€ 41,49

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The volume focuses on many aspects related to doping of semiconductors (Si, SiGe and Ge) for device fabrication, and explores areas for single-gate as well as multi-gate devices with planar and vertical architectures. Surface properties, coverage, bonding saturation and passivation, and annealing ambient are also discussed.

336 pages, black & white illustrations

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 5 de junho de 2014
ISBN13 9781107408548
Editoras Cambridge University Press
Páginas 336
Dimensões 152 × 229 × 18 mm   ·   533 g   (Peso (estimado))
Idioma Inglês  
Editor Law, M. (University of Florida)
Editor Pawlak, B. J.
Editor Pelaz, M. L. (Universidad de Valladolid, Spain)
Editor Surugo, K.

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