Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography: XIII (Proceedings of SPIE) - Singh - Livros - SPIE Press - 9780819431516 - 30 de junho de 1999
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Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography: XIII (Proceedings of SPIE)

Singh

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Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography: XIII (Proceedings of SPIE)

1052 pages, illustrations

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 30 de junho de 1999
ISBN13 9780819431516
Editoras SPIE Press
Páginas 1052
Dimensões 1,74 kg   (Peso (estimado))
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