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Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
Mack, Chris (Lithoguru.com)
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Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
Mack, Chris (Lithoguru.com)
Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. This sole-authored text includes optional computer simulation exercises as well as problems at the end of each chapter.
534 pages, Illustrations
| Mídia | Livros Paperback Book (Livro de capa flexível e brochura) |
| Lançado | 16 de novembro de 2007 |
| ISBN13 | 9780470727300 |
| Editoras | John Wiley & Sons Inc |
| Páginas | 544 |
| Dimensões | 247 × 174 × 29 mm · 916 g |
| Idioma | English |
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