Rapid Thermal Processing: Science and Technology - Fair - Livros - Elsevier Science Publishing Co Inc - 9780122476907 - 15 de abril de 1993
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Fair
Rapid Thermal Processing: Science and Technology

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Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.

430 pages

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 15 de abril de 1993
ISBN13 9780122476907
Editoras Elsevier Science Publishing Co Inc
Páginas 430
Dimensões 152 × 229 × 25 mm   ·   725 g
Editor Fair, Richard B.

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