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Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology Thorsten Lill
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Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology
Thorsten Lill
325 pages
| Mídia | Livros Paperback Book (Livro de capa flexível e brochura) |
| Lançado | 21 de abril de 2021 |
| ISBN13 | 9783527346684 |
| Editoras | Wiley-VCH Verlag GmbH |
| Páginas | 304 |
| Dimensões | 245 × 171 × 18 mm · 584 g |
| Idioma | Inglês |
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