Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing - Springer Series in Advanced Manufacturing - Wei Gao - Livros - Springer London Ltd - 9781849962537 - 28 de junho de 2010
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Wei Gao
Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing - Springer Series in Advanced Manufacturing 2010 edition

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Precision Nanometrology describes the new field of precision nanometrology, which plays an important part in nanoscale manufacturing of semiconductors, optical elements, precision parts and similar items.

367 pages, 3 black & white tables, biography

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 28 de junho de 2010
ISBN13 9781849962537
Editoras Springer London Ltd
Páginas 354
Dimensões 241 × 165 × 28 mm   ·   635 g
Idioma Inglês  
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