Optical Inspection of Microsystems, Second Edition - - Livros - Taylor & Francis Inc - 9781498779470 - 25 de junho de 2019
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Optical Inspection of Microsystems, Second Edition 2º edição

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This book provides an up-to-date survey of the most important and widely used full-field optical metrology and inspection technologies. Techniques such as interference microscopy, laser Doppler vibrometry, holography, speckle metrology, spectroscopy and deflectrometry and digital holographic microscropy for the inspection of MEMS.

600 pages, 32 Illustrations, color; 525 Illustrations, black and white

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 25 de junho de 2019
ISBN13 9781498779470
Editoras Taylor & Francis Inc
Páginas 570
Dimensões 262 × 188 × 30 mm   ·   1,38 kg
Idioma Inglês  
Editor Osten, Wolfgang (Universitat Stuttgart, Germany)

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